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實(shí)驗(yàn)室用設(shè)備SY-DT系列 實(shí)驗(yàn)用低溫等離子體處理儀

發(fā)布時間:2024-02-23人氣:4


1、產(chǎn)品特點(diǎn)

◆高可靠性,高重復(fù)性

◆寬泛的參數(shù)調(diào)節(jié)范圍,可以使用多種氣體,實(shí)現(xiàn)最大范圍的參數(shù)選擇

◆便捷化的操作模式,方便實(shí)驗(yàn)人員操作。

◆簡單的維護(hù)方法

◆產(chǎn)品體積小

◆適應(yīng)不同形狀材料的處理

◆設(shè)備可選型號齊全,有不銹鋼、石英、鋁合金等不同材質(zhì)真空腔;40KHz,13.56MHz等離子發(fā)生源等可選。也有全自動、手動版本可選擇。


2、主要技術(shù)參數(shù)

設(shè)備型號

SY-DT01

SY-DT07

SY-DT02

SY-DT02S

SY-DT03

SY-DT03S

整機(jī)結(jié)構(gòu)

臺式

柜式可移動

外形尺寸

625x500x442

500x500x320

700x700x2093(含指示燈底輪)

設(shè)備重量

54KG

75KG

250KG

250KG

250KG

250KG

腔體規(guī)格

圓形,3L

方形,9L

圓形,7L

方形,17L

圓形,7L

方形,17L

腔體尺寸

Φ140x210

210x210x220

Φ210x210

260x260x260

Φ210x210

260x260x260

電極規(guī)格

外置環(huán)形

內(nèi)置平板式

外置環(huán)形

內(nèi)置平板式

外置環(huán)形

內(nèi)置平板式

載物尺寸

120x180

170x194

180x185

220x185

180x185

220x185

電    源

高頻40KHz

射頻13.56MHz

放電功率

300W

1000W

500W

放電形式

輝光放電

真 空 泵

外置機(jī)械泵 抽速:3L/S

內(nèi)置機(jī)械泵 抽速:6L/S

控制系統(tǒng)

手動

PLC自動

進(jìn)氣路數(shù)

2路進(jìn)氣

放電氣壓

5-80Pa

可連續(xù)   放電時間

>30min

使用氣體

氧氣、氬氣、氮?dú)?、空氣、氦氣、氫氣、少量蒸汽?/p>


3、產(chǎn)品特點(diǎn)

◆適用于小尺寸材料的表面處理

◆適用于高分子材料、陶瓷、玻璃、硅片、金屬的表面處理,不合適液體、揮發(fā)性強(qiáng)的物質(zhì)。

◆能適用塊狀、薄膜狀、復(fù)雜幾何構(gòu)型、少量粉末材料的處理

◆能實(shí)現(xiàn)表面清洗、活化、有機(jī)物沉積、接枝、消毒、刻蝕等處理要求。


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