1、真空等離子技術(shù)
這些等離子體在密閉的真空中產(chǎn)生。與常壓條件下相比,每個(gè)單位體積中的微粒數(shù)較少,這樣就增加了粒子自由程長(zhǎng)度,并相對(duì)減少了碰撞過(guò)程。因此,等離子體能量削弱的傾向減弱,可在空間內(nèi)更廣泛地傳播。要制造真空腔體,需要使用功能強(qiáng)大的氣泵。真空等離子技術(shù)不具備在線聯(lián)動(dòng)功能。
2、常壓射流等離子處理技術(shù)
常壓等離子是在大氣壓條件下產(chǎn)生的。這就是說(shuō),不需要使用真空腔體。采用電弧放電噴槍技術(shù),首次實(shí)現(xiàn)在大氣壓條件下將非常有效——更重要的是—安全無(wú)電勢(shì)的等離子直接集成到工藝之中。常壓等離子處理機(jī)成本低、性能好,因而作為真空等離子和電暈工藝的工藝替代和工藝提升,獲得了廣泛的應(yīng)用。 常壓等離子技術(shù)的一大優(yōu)勢(shì),在于其在線集成能力。作為一項(xiàng)工藝準(zhǔn)則,這種技術(shù)能夠順利集成到現(xiàn)有的生產(chǎn)系統(tǒng)中。
3、大氣輝光等離子清洗技術(shù)
金徠大氣壓射頻輝光等離子清洗機(jī)幾乎不產(chǎn)生臭氧或氮氧化物,廣泛應(yīng)用在顯示器、手機(jī)、半導(dǎo)體、汽車、玻璃、薄膜、聚合物、生物領(lǐng)域的金屬和非金屬的表面處理工序。因裝載方便,適用于各種自動(dòng)化制程和連續(xù)制程。金徠高頻直接式大氣壓等離子體,跟臭氧和UV燈相比具有100倍以上的清潔效果,跟真空等離子體相比有10倍以上的工作效率,去除有機(jī)物、表面活化、去除靜電等性能優(yōu)異,同時(shí)還可廣泛用于各種帶線路材料的灰化、蝕刻、微氧化表面的還原等表面處理。
4、電暈處理技術(shù)
電暈處理是一種使用高電壓的物理工藝,主要用于薄膜處理。電暈預(yù)處理的缺點(diǎn)是,表面活化能力相對(duì)較低,而且處理之后的表面效果有時(shí)不夠均勻。薄膜的反面也會(huì)被處理,有時(shí)這是工藝要求需要避免的。而且,經(jīng)由電暈處理得到的表面張力無(wú)法維持長(zhǎng)時(shí)間的穩(wěn)定性,經(jīng)過(guò)處理的產(chǎn)品往往只能存放有限的時(shí)間。
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